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台阶仪

主要应用:
薄膜与涂层
微电子与 MEMS
摩擦磨损研究
材料加工
硬质涂层
半导体工艺

1.项目介绍

台阶仪用于获取样品表面的微观二维形貌轮廓及三维形貌,可实现对表面粗糙度、膜层厚度、磨损量等关键参数的高精度测量。


2.样品要求

2.1 适用于各种固态材料,样品厚度不超过 20 mm。

2.2 最大扫描区域为 15 cm × 15 cm。

台阶仪
主要应用:
薄膜与涂层
微电子与 MEMS
摩擦磨损研究
材料加工
硬质涂层
半导体工艺
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