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主要应用: 薄膜与涂层 微电子与 MEMS 摩擦磨损研究 材料加工 硬质涂层 半导体工艺
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1.项目介绍
台阶仪用于获取样品表面的微观二维形貌轮廓及三维形貌,可实现对表面粗糙度、膜层厚度、磨损量等关键参数的高精度测量。
2.样品要求
2.1 适用于各种固态材料,样品厚度不超过 20 mm。
2.2 最大扫描区域为 15 cm × 15 cm。
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