静态二次离子质谱（TOF-SIMS）

1.项目介绍

飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是一种用于检测固体表面及近表面成分信息的技术，几乎可分析任何在真空中稳定的固体。该技术不仅可进行从氢（H）至铀（U）的全元素及同位素分析，还能准确识别原子团与官能团，并实现微区分析成像及深度动态分析。

TOF-SIMS 对材料表面及界面的元素、分子结构进行分析，典型分析深度为表面 1–3 nm，检出限可达 ppm 级别。该技术可实现对样品的成像、成分定性鉴定、二维及三维成像以及质谱分析，广泛应用于半导体、生物、医药、化学、材料及天体物理等研究领域。

2.样品要求

2.1 样品一般要求无磁性。弱磁性样品可进行测试，强磁性样品无法测试。

2.2 粉末样品至少需提供 10 mg；块体样品尺寸应小于 1 cm × 1 cm × 0.8 cm，最小尺寸建议为几毫米。

2.3 如需获取 3D 图像，请在测试选项中注明，默认情况下不提供三维成像。

2.4 深度分析的具体测试费用与刻蚀深度及离子种类相关，请提前咨询。

2.5 如需与之前的测试条件保持一致，请务必提供相应的测试条件参数。

2.6 正离子与负离子测试分开进行，测试时间独立计算。

2.7 请务必在样品的非测试面上标记“×”，仅在本测试单上描述不足以区分测试面。

2.8 含铁（Fe）、钴（Co）、镍（Ni）、锰（Mn）、钌（Ru）等磁性元素的样品定义为磁性样品。无法被强磁铁吸引的样品为弱磁性样品，可被强磁铁吸引的样品为强磁性样品。请仔细检查样品磁性，如因隐瞒样品信息导致仪器损坏，送样方需承担全部赔偿责任。

3.常见问题

3.1 离子后面带的正或者负符号，为什么都是正一价或负一价？

离子带正或负的符号只是代表正离子或者负离子，与价态无关。

3.2 在 TOF-SIMS 测试中，如果需要同时测试正负离子，那么需要分别使用不同的样品进行测试吗？可以在同一个样品上选取不同的区域进行测试吗？

如果是测试质谱和二维成像，因为没有损伤，可以选取同一个位置进行测试，且采集完正离子后可以继续采集负离子信息；如果是做深度分析，则可以在同一个样品上选取不同的区域，分别测试正离子和负离子。

3.3 TOF-SIMS 可以测离子含量吗？

不能。TOF-SIMS 静态二次离子质谱测试离子强度，为定性测试，不能定量。

3.4 TOF-SIMS 中，质谱测试溅射厚度是多深？

一般溅射厚度为 2 到 3 层原子，小于 1nm。