1.项目介绍
俄歇电子能谱（AES）是一种采用具有一定能量的电子束（或X射线）激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量与强度，获取材料表面化学成分及结构信息的分析方法。AES主要可实现以下分析功能：固体表面元素定性分析、表面微区分析（线扫描、面扫描）、原子化学结合状态分析、元素沿深度方向的分布分析以及表面元素半定量分析。
2.样品要求
2.1 AES 元素分析范围为锂（Li）至铀（U），仅适用于无机物质测试，有机物无法检测。目前仪器检出限约为 3 atomic %。
2.2 块体或薄膜样品尺寸不超过 5 mm × 5 mm × 3 mm；粉末样品需提供 10 mg。
2.3 由于 AES 测试深度极浅，无法对样品进行喷金处理后再测试，因此仅能测试导电性较好的样品，绝缘样品无法测试。
2.4 样品制备完成后，请尽可能真空密封送样，避免样品吸附空气中污染物，对表面测试结果造成影响。
2.5 样品在超高真空条件下必须保持稳定，不得具有腐蚀性、磁性或挥发性。
3.常见问题
3.1 AES 的优点是什么？
高空间分辨率。
3.2 俄歇电子能谱的逸出深度为多少？
样品表面
3.3 俄歇电子能谱可以获得哪些信息？
表层成分和表面化学态。
3.4 XPS 中的俄歇谱与单独的 AES 有什么区别？
XPS 使用 X 射线激发，采集的俄歇谱峰能量分辨率高一些，有的谱峰能用于化学态识别；AES 用电子束激发，会破坏有些材料的化学键，主要适合元素分析。AES 的优点是高空间分辨率，如果不是分析微米纳米级微区，就不需要使用 AES
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