1. 项目介绍
1.1 椭偏仪是一种高精度光学测量仪器，用于表征薄膜厚度、光学常数（折射率n、消光系数k）及材料微结构。该技术具有测量精度高、适用于超薄膜、与样品非接触、对样品无破坏、无需真空环境等突出优势，是薄膜材料研究与光学镀膜工艺控制的重要工具。
1.2 本仪器具备以下测试能力：
- 入射角范围：55° ~ 90°
- 波长范围：190 nm ~ 2100 nm（覆盖紫外、可见及近红外波段）
- 温度范围：室温 ~ 600°C（可实现变温椭偏测量）
2. 样品要求
2.1 样品表面需具备镜面反射效果。
2.2 样品形态须为薄膜。
2.3 多层膜结构需提供陪片（同工艺制备的参考样品）。
2.4 样品尺寸要求：长宽均大于20 mm，样品整体厚度大于1 mm。
3. 常见问题
3.1 椭偏仪测试的光谱范围如何选择？
椭偏仪的光谱范围在深紫外142nm到红外33μm可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度以及关注的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透薄膜，到达基底，因此需要选取该材料的透明或部分透明光谱段；对于厚的薄膜，选取长波长更有利于测量。
3.2 椭偏仪测试适用于哪些材料？
适用于无机材料，样品需要有一定透光性。
3.3 椭偏仪测试可以得到哪些参数？
膜厚、波长-折射率曲线、波长-消光系数曲线等。
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