具体测试对象：
像素化半导体探测器（硅微条，timepix芯片）
CZT单晶厚膜探测器
微结构气体探测器（MPGD）
1. 项目介绍
原理：利用高度准直的微束辐射源（如微束X射线、质子束或飞秒激光）逐点扫描探测器表面，同步记录每个空间坐标下的电信号。通过二维物理坐标与信号特征（如脉冲幅度）的数学关联，实现探测器内部微观响应的超高分辨空间可视化。
作用：绘制载流子收集效率CCE的二维图谱、亚像素级的能量分辨率分布、以及灵敏区边界与盲区测绘。能够精确定位晶体内部孪晶、包裹体引发的局域电荷俘获中心；量化评估像素间沿面漏电与电荷共享效应；验证微纳加工电极几何边界的有效物理电场分布状态。
2. 样品要求
待测探测器表面需具备较好的平整度。微束探针的穿透深度极浅，若晶体表面粗糙起伏或钝化层厚度不均，将导致入射能量在到达灵敏区前发生强烈的随机衰减，从而在二维映射图谱上引入完全虚假的信号减弱盲点或物理伪影。
3. 常见问题
3.1 微放电污染。
微纳尺寸探测器内部存在极强的非均匀电场。在空气环境或真空度不足的扫描腔室中，施加全偏压时极易在电极尖端引发微小电晕放电。这些脉冲在幅度与频域上与真实射线粒子信号相似，会严重影响二维特征图谱的空间真实性。
使用设备：高真空显微测试靶室等
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