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白光三维光学显微镜/3D光学轮廓仪

主要应用:
材料科学
半导体与微电子
精密加工
薄膜与涂层
摩擦磨损研究
失效分析

1.项目介绍

白光三维光学显微镜(又称 3D 光学轮廓仪)用于测试样品表面的粗糙度、三维形貌、表面起伏、平整度以及凹坑的深度和面积等参数。影像三坐标功能可测量样品的空间位置,包括平行度、垂直度及对角线距离等几何量。


2.样品要求

2.1 样品表面需平整。

2.2 样品尺寸不超过 50 mm × 50 mm。


3.常见问题

3.1 白光三维光学显微镜/3D光学轮廓仪/接触式轮廓仪,是一样的吗?

不一样。前两个属于同仪器,是无接触式的光学照射测量,而接触式轮廓仪也叫台阶仪,属于探针接触式的测量,都是用于材料表面形貌测试。

3.2 测试样品表面粗糙度可以给出哪些参数?

Ra(轮廓算术平均偏差);Rq(均方根粗糙度);Rz(微观不平度十点高度);Rp(最大轮廓波峰高度);Rv(最大谷值)。

白光三维光学显微镜/3D光学轮廓仪
主要应用:
材料科学
半导体与微电子
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薄膜与涂层
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