1.项目介绍
电子探针显微分析（EPMA），又称微区 X 射线光谱分析仪或 X 射线显微分析仪，是一种能够在微米尺度内进行化学成分分析的精密仪器。
1.1 显微结构分析：EPMA 可实现数微米范围内的微区分析，将微区化学成分与显微结构相对应，是一种有效的显微结构分析手段。
1.2 元素分析范围广：可分析硼（B，原子序数 5）至铀（U，原子序数 92）范围内的元素。
1.3 定量分析准确度高：检测限一般为 0.01–0.05 wt%，可进行轻元素、“痕量元素”及重叠峰存在情况下的分析。
1.4 分析速度快且不损坏样品：新型 EPMA 可在约 0.5 小时内完成样品分析，且分析后样品可完好保存。
1.5 应用范围广：广泛应用于冶金、地质、生物和考古等领域。
2.样品要求
2.1 样品尺寸：样品应为块状或颗粒状，最大尺寸需根据不同仪器的样品架要求确定。定量分析样品需均质，厚度通常应大于 5 μm。
2.2 导电与导热性能：金属材料一般具有良好的导热和导电性能；硅酸盐材料及其他非金属材料通常导热和导电性较差，需在样品表面均匀喷镀一层 20–400 Å 的碳膜或铝膜，以提高表面导热和导电性能。
2.3 样品表面光滑平整：样品表面必须经过抛光处理，确保清洁平整。表面凹凸不平可能导致射出的 X 射线受到不规则的吸收，影响分析结果。
3.常见问题
3.1 EPMA中成分分析属于能谱分析还是波谱分析？
EPMA成分分析使用的是波长色散谱仪（WDS），即属于波谱分析。
3.2 SEM和EPMA的主要区别是？
SEM侧重于形貌成像，EPMA更倾向于微区成分分析。
3.3 EPMA分析的优势？
①能进行微区分析。可分析数个μm3内元素的成分；
②能进行现场分析。无需把分析对象从样品中取出，可直接对大块试样中的微小区域进行分析。把电子显微镜和电子探针结合，可把在显微镜下观察到的显微组织和元素成分联系起来；
③分析范围广。Z>4中，波谱：B-U，能谱：Na-U。
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